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产品名称:在线红外加热器
型号:Inline infrared heater series
该产品是REC公司面向大半导体领域(包括:光掩模、硅晶圆、LED、MEMS、光伏、平板显示等行业)推出的纯水和各类药剂的在线红外加热器。
有意向可联系:13775645207(钱美琪)
在线红外加热器的特点
•防腐洁净设计,接液部件材质为石英或PTFE,避免部件腐蚀造成加热液体污染,
•红外辐射加热,不存在热惯性,升温迅速,断电后立即停止升温。
•非接触加热,液体受热均匀,避免局部高温蒸发造成的颗粒积聚。
• REC专利温度控制算法,极大减小液体流量变化造成的温度波动。
•可通过程序设定温度或升温曲线。