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产品名称：CIS系列CO2发泡机（二氧化碳发泡机、二氧化碳鼓泡机、去静电二氧化碳水、二氧化碳离子化水）
产品别名：鼓泡机
简介：CO2发泡机（二氧化碳发泡机）是REC公司面向半导体前段生产和后段封装中切割和清洗等超纯水应用领域的生产辅助设备。本产品设备结构简洁，功能实用，操作维护方便。
应用客户：苏州晶方半导体科技股份有限公司、无锡华润微电子有限公司、北京航天微电科技有限公司、Micron technology、Ultra-T、Photronics、Hynix等.
有意向可联系：13775645207（钱美琪）
用途：
1、增强水的导电性，可避免静电破坏与静电吸附，适用于：通用表面清洗工艺、硅晶圆切割工艺、单基片旋转清洗工艺。
2、中和碱性残留物，使水呈弱酸性，适用于：硅晶圆BEOL清洗工艺。
产品规格型号：
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型号 参数 |
CIS-Ⅰ |
CIS-II |
CIS-III |
CIS-III-Pro |
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水流量范围 （升/小时） |
300～3500 |
110～1200 |
50～360 |
50～360 |
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电阻率设置范围 （MΩ） |
0.2～2 |
0.2～5 |
0.2～5 |
0.05～0.5 |
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CO2压力（MPa） |
0.5 | |||
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输入电压（V） |
110～220 | |||
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功率（W） |
～60 | |||
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重量（kg） |
～5 | |||
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尺寸（mm） |
600×600×350 | |||
